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超高真空チャンバー

CHAMBER

超高真空チャンバー

低真空、中高真空、超高真空用のチャンバーがあり、こちらはICFフランジを用いての 高真空チャンバー、超高真空チャンバーです。 チャンバー内での温度調整の為水冷を巻いております。

超真空チャンバー

本体 t4 × 153φ × 600L（ICFフランジ使用）
材質 SUS304
表面仕上 本体
内面　バフ研磨
外面　ヘアーライン

超高球形チャンバー

本体 t6 × 350φ球（ICFフランジ使用）
材質 SUS304
表面仕上 本体
内面　バフ研磨
外面　ヘアーライン

 

高真空冷却パイプ巻き

本体 t3 × 203φ × 600L（ICFフランジ使用/水冷巻き）
材質 SUS304
表面仕上 本体
内面　バフ研磨
外面　バフ研磨

 

高真空水冷ジャケット巻きチャンバー

本体 t4 × 400φ × 400φ（ICFフランジ使用/水冷巻き）
材質 SUS316L
表面仕上 本体
内面　バフ研磨
外面　ヘアーライン
表面処理 電解研磨

 

超高真空、多方向角度チャンバー

本体 t4 × 153φ × 600L（ICFフランジ使用）t6 × 267φ球
材質 SUS304
表面仕上 本体
内面　バフ研磨
外面　バフ研磨

 

超高真空角形チャンバー

本体 t20 × 800× 800× 400L（ICFフランジ使用/水冷巻き）
材質 SUS304
表面仕上 本体
内面　ヘアーライン
外面　ヘアーライン

 

高真空角形チャンバー

本体 　t20 × 500× 600× 400L（Oリングパッキン使用）
材質 SUS304
表面仕上 本体
内面　ヘアーライン
外面　ヘアーライン

 

高真空角形チャンバー

本体 t20 × 500× 600× 400L（Oリングパッキン使用）
材質 SUS304
表面仕上 本体
内面　400＃バフ研磨
外面　400＃バフ研磨

 

高真空チャンバー

本体 t8 × 900φ×1400L（Oリングパッキン使用）
材質 SUS304
表面仕上 本体
内面　ヘアーライン
外面　ヘアーライン

 

ICF203　六方チャンバー

本体 210 × 210×210　（ICFフランジ使用）
材質 SUS304
表面仕上 希望により電解研磨

超高球形チャンバー

本体 ICFフランジ仕様
材質 SUS316L
表面仕上 本体
内面　バフ研磨
外面　バフ研磨

低真空脱気装置

本体
材質 SUS304
表面仕上 本体
内面　ヘアーライン
外面　ヘアーライン

 

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