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超高真空チャンバー
超高球形チャンバー
本体
t4 × 153φ × 600L
（ICFフランジ使用）
材質
SUS304
表面仕上
本体
内径 バフ研磨
外径 ヘアーライン
本体
t6 × 350φ球
（ICFフランジ使用）
材質
SUS304
表面仕上
本体
内径 バフ研磨
外径 ヘアーライン
高真空冷却パイプ巻き
高真空水冷ジャケット巻きチャンバー
本体
t3 × 203φ × 600L
（ICFフランジ使用）
材質
SUS304
表面仕上
本体
内径 バフ研磨
外径 ヘアーライン
本体
t4 × 400φ × 400φ
（ICFフランジ使用）
材質
SUS316L
表面仕上
本体
内径 バフ研磨
外径 ヘアーライン
表面処理
電解研磨
超高真空、多方向角度チャンバー
超高真空角形チャンバー
本体
t6 × 267φ球
（ICFフランジ使用）
材質
SUS304
表面仕上
本体
内径 バフ研磨
外径 バフ研磨
本体
t20 × 800× 800× 400L
（ICFフランジ使用）
材質
SUS304
表面仕上
本体
内面 ヘアーライン
外面 ヘアーライン
高真空角形チャンバー
高真空角形チャンバー
本体
t20 × 500× 1200L
（Oリングパッキン使用）
材質
SUS304
表面仕上
本体
内面 ヘアーライン
外面 ヘアーライン
本体
t20 × 500× 600× 400L
（Oリングパッキン使用）
材質
SUS304
表面仕上
本体
内面 400＃研磨
外面 400＃研磨
高真空チャンバー
ICF203 六方チャンバー
本体
t8 × 900φ×1400L
（Oリングパッキン使用）
材質
SUS304
表面仕上
本体
内面 ヘアーライン
外面 ヘアーライン
本体
210 × 210×210
（ICFフランジ使用）
材質
SUS304
表面処理
希望により電解研磨
